金属热处理工艺术语_沉积类


 
  1)化学气相沉积:通过化学气相反应在工件表面形成薄膜的工艺。  
  2)等离子体增强化学气相沉积:利用各种等离子体的能量促使反应气体离解、活化以增强化学反应的化学气相沉积。其中包括:射频放电等离子体化学气相沉积、微波等离子体化学气相沉积、ERC(电子回旋共振)微波等离子体化学气相沉积、直流电弧等离子体喷射化学气相沉积等。  
  3)火焰沉积:采用高温火焰加热,使反应气体离解、活化的化学气相沉积。  
  4)热丝辅助化学气相沉积:采用通电的灯丝加热反应气体的化学气相沉积。  
  5)电子束辅助热丝化学气相沉积:采用在灯丝和衬底间施加偏压的方法产生等离子体,提高沉积速率,改善薄膜材料质量的化学气相沉积。  
  6)激光辅助化学气相沉积:利用激光的热或光子能量效应使反应气体活化的化学气相沉积。其中包括:光化学气相沉积、光热解化学气相沉积等。  
  7)金属有机化合物化学气相沉积:利用金属有机化合物作为反应气体的化学气相沉积。  
  8)物理气相沉积:在真空加热条件下利用蒸发、辉光放电、弧光放电、溅射等物理方法提供原子、离子,使之在工件表面沉积形成薄膜的工艺。其中包括蒸镀、溅射沉积、磁控溅射以及各种离子束沉积方法等。  
  9)离子镀:在真空条件下,利用气体放电使气体或被蒸发物质部分电离,并在气体离子或被蒸发物质离子的轰击下,将蒸发物质或其反应物沉积在基片上的方法。其中包括磁控溅射离子镀、反应离子镀、空心阴极放电离子镀(空心阴极蒸镀法)、多弧离子镀(阴极电弧离子镀)等。  
  10)盐浴沉积:钢件或模具在含有Cr、V、Nb等元素的高温硼砂盐浴巾表面沉积这些元素碳化物耐磨层的工艺。
 
     
     
   
     
 
 
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